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云天半导体突破25D高密度玻璃中介层方法

时间:2024-03-06 21:57 点击次数:72

  的崛起,2.5D中介层转接板作为发展封装集成的主要技巧,比年来取得迅猛发展。与硅基比较,玻璃基(TGV)具有杰出的高频电学、力学性能、工艺过程简化和资本低等优势,并能告竣

  比年来,厦门云天半导体科技有限公司努力于研发玻璃通孔及其集成门径,启示了高精度、高深宽比玻璃孔制备方法、高性能玻璃基IPD权谋,并竣工了范围化量产。面向高功能芯粒集成必要,云天半导体告成研发了高密度玻璃转接板技术。大尺寸TGV转接板样品如图1所示,该玻璃转接板面积为2700mm2(60mm×45mm),厚度为80μm,TGV开口直径25μm,达成8:1精美宽比的TGV盲孔无孔洞填补。金属布线采取无机薄膜介质资料,杀青3层RDL堆叠,经过调试干法刻蚀参数、优化CMP掷光能力完毕细间距RDL,其中最小L/S可达1.5/1.5μm(如图2)。并经验多场reticle拼接本领可惬意大尺寸转接板制备,此中拼接精度可控在100nm以内(如图3)。电性考试到底注释基于玻璃基的无机RDL机关较有机RDL浪费消极10%。

  基于玻璃基板的综合功能以及近期Intel揭晓的来日开展筹划,业界高度注重玻璃基板法子展开和产品使用。云天半导体的高密度玻璃中介层权谋将来将助力AI等行使的CPUGPU产品的提高封装。

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